XRD란..? XRD로 결정구조 알아보기

XRD는 회절을 이용한 분석법으로 결정구조, Grain Size등을 확인할때 많이 쓰이는 분석법이다. X-선 회절 분석을 이용하여 고체 내의 원자나 분자의 배열에 관해 분석하고 원자의 면 간 거리와 결정구조를 유추하는데도 많은 도움을 준다. XRD 결과를 분석하려면 XRD 분석법에 대해 알면 도움이 될 듯하여 하나하나 설명해보려고 한다. 1. XRD란? XRD는 X-Ray Diffraction의 약자로 X선의 회절을 통해 시료를 분석하는 … Read more

Ta(탄탈륨/탄탈럼)의 두 얼굴 “알파 Ta와 베타 Ta”

원자번호 73번의 Tantalum은 탄탈륨 또는 탄탈럼으로 읽고 주기율표 5족에 속하는 금속이다. 반도체에서 흔히 Barrier Metal로 많이 쓰이는 Ta는 Cu(Copper, 구리)와 소자 Si, Oxide를 구분지어 주는 역할을 한다. 이 금속은 결정구조에 따라 2가지 형태를 띄는데 그것이 바로 알파 Ta와 베타 Ta다. 1. Ta 주요 성질 분류 전이 원소 상태 고체 원자량 180.94788 밀도 16.69 g/cm3 녹는점 … Read more