Ta(탄탈륨/탄탈럼)의 두 얼굴 “알파 Ta와 베타 Ta”
원자번호 73번의 Tantalum은 탄탈륨 또는 탄탈럼으로 읽고 주기율표 5족에 속하는 금속이다. 반도체에서 흔히 Barrier Metal로 많이 쓰이는 Ta는 Cu(Copper, 구리)와 소자 Si, Oxide를 구분지어 주는 역할을 한다. 이 금속은 결정구조에 따라 2가지 형태를 띄는데 그것이 바로 알파 Ta와 베타 Ta다. 1. Ta 주요 성질 분류 전이 원소 상태 고체 원자량 180.94788 밀도 16.69 g/cm3 녹는점 … Read more